sem掃描電鏡如何準(zhǔn)備測試樣品？

日期：2022-12-13 11:14:47 瀏覽次數(shù)：258

掃描電鏡是一種平面形貌表征測試技術(shù)，具備一定的三維方向上的表征能力，但受限于電子探針的檢測深度有限，在垂直于視場方向上景深一般不超過1μm，結(jié)合sem掃描電鏡的測試原理，對于樣品的要求主要有如下兩點:

掃描電鏡.jpg

1.樣品表面起伏不大；

2.樣品表面導(dǎo)電。

這就確定了制樣的基本原則:

1、對于宏觀粉末樣品，直接平鋪分散到導(dǎo)電膠上即可；

2、對于塊狀樣品，則需要將待觀察面朝上，且待觀察面需要與樣平臺面保持平行，固定于樣平臺上。對于導(dǎo)電性差的材料，需要進(jìn)行表面噴金或通過導(dǎo)電膠粘連樣品表面和樣平臺的手段，*終目的仍然是保證待觀察面的平整和導(dǎo)電。

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